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等离子清洗的作用原理主要是：
A：对材料表面的刻蚀作用-物理作用
等离子体中的大量离子、激收态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而不会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
B：激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在0-20eV,而聚合物中大部分的键能在0-10eV，因此等离子体作用到固固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
C：形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会产生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
(1)真空等离子清洗的优势
等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。
不传统的一些清洗方法，如超声清洗、UV清洗等，具有以下优点：
A：处理温度低
处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。
B：处理全程无污染
等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
C:处理效果稳定
等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
D：可以处理各种形状的样品
对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
(1)产品原理
等离子清洗的机构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
A:控制单元
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部份：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
B:真空腔体：
真空腔体主要是分为三种材质的：1）不锈钢真空控体；2）石英腔体；3）高强度铝合金腔体。
C：真空泵：
真空泵种类较多，其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。
1.技术规格、基本配置
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整机规格： |
6506501380（长x宽x高）mm |
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整机重量： |
约400kg |
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铝合金清洗腔体规格： |
300300350（长x宽x高）mm(厚度更厚，密封性强，寿命更长） |
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铝合金清洗腔体有效积： |
30L |
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电源： |
AC 220V电源 开关带漏电保护器 |
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功率： |
≦1KW |
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射频输出（连续可调）： |
0-600W，配置真空电容自动匹配器 |
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射频频率： |
13.56MHz |
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清洗时间定时器范围： |
0-99.99min |
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真空泵： |
德国技术，双极旋片真空泵，抽速可达60m⊃3;/h |
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极限真空泵： |
≦10Pa 工作真空度≦30Pa |
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真空度测量及量程： |
1.0105-1.010-1Pa进口电子真空计 |
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气体流量计及量程 ： |
国内领先品牌，量程0-300SCCM |
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进气阀： |
全自动电子挡板阀 |
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玻璃观察窗： |
观察清洗舱内辉光状态 |
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常用工作气体： |
氧气氩气氮气或混合气体可选 |
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气路： |
独特的气路分布结构，确保气体分布均匀 |
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PLC: |
德国西门子PLC，全自动程序控制 |
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触摸屏： |
威纶通触摸屏，人性化界面，极易操作 |
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全面安全防护： |
温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能 |
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电气部件： |
全采用施耐德 |
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气压调节部件： |
全球领先SMC品牌 |
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电极板： |
特殊处理的电板板结构，确保放电均匀，清洗效果 |
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腔体： |
军工级的高真空密封腔体 |
2.性能优势
A:原装进口电源：采用原装进口高压激励电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。
B:全面安全防护：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。
C：独有放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。
D:密封性卓越的真空腔体设计：军工级的高真农药度真空腔体设计及制造工艺，配置进口真空泵。
E：优势产品部件：产品全部部件采用国内外优质部件，确保设备性能优越。
F：超低真空温度：满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。
G：精密数控加工：进口精密CNC数据机床加工工艺，并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。
H:适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，全方位均匀清洗。
售后服务：
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